Современный групповой технологический цикл позволяет

Современный групповой технологический цикл позволяет обрабатывать одновременно десятки полупроводниковых пластин, каждая из которых содержит сотни ПМС с сотнями элементов в кристалле, связанных в заданные электронные цепи. При такой технологии обеспечивается высокая идентичность электрических характеристик микросхем.

Пленочными интегральными (или просто пленочными схемами ПС) называют ИС, все элементы и межэлементные соединения которой выполнены только в виде пленок. Интегральные схемы подразделяют, на тонко- и толстопленочные. Эти схемы могут иметь количественное и качественное различие. К тонкопленочным условно относят ИС с толщиной пленок до 1 мкм, а к толстопленочным — ИС с толщиной пленок выше 1 мкм. Качественное различие определяется технологией изготовления пленок. Элементы тонкопленочной ИС наносят на подложку с помощью термовакуумного осаждения и катодного распыления. Элементы толстопленочных ИС изготовляют преимущественно методом шелкографии с последующим вжиганием.

Гибридные интегральные микросхемы (ГИС) представляют собой сочетание навесных активных радиоэлементов (микротранзисторов, диодов) и пленочных пассивных элементов и их соединений. Обычно ГИС содержат: изоляционные основания из стекла или. ке-, рамики, на поверхности которых сформированы пленочные проводники, резисторы, конденсаторы небольшой емкости; навесные бескорпусные активные элементы (диоды, транзисторы); навесные пассивные элементы в миниатюрном исполнении (дроссели, трансформаторы, конденсаторы большой емкости), которые не могут быть выполнены в виде пленок. Такую изготовленную ГИС герметизируют в пластмассовом или металлическом корпусе.

Резисторы сопротивлением от тысячных долей ома до десятков килоомов в ГИС изготовляют в виде тонкой пленки нихрома или тантала. Пленки наносят на изоляционную основу (подложку) и подвергают термическому отжигу. Для получения резисторов с сопротивлением в десятки мегаомов используют металлодиэлектрическив смеси (хрома, монооксида кремния и др.).

Содержание Назад Вперед

Forekc.ru
Рефераты, дипломы, курсовые, выпускные и квалификационные работы, диссертации, учебники, учебные пособия, лекции, методические пособия и рекомендации, программы и курсы обучения, публикации из профильных изданий